半导体薄膜测试机构-广西壮族自治XRD残余应力检测

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由于百分之一i百的晶态的试样比较难制备，所以通常使用差异分析法。假定结晶相百分数正比于衍射峰积分强度之和，非晶相百分数正比于非晶散射峰积分强度。

即xc=pic;xa=qia

则:xc=ic(ic+kia)x100%

【注意：ic为晶体部分的衍射积分强度，ia为非晶部分的衍射积分强度。k=q/p，是晶体部分和非晶部分之间的单位物质的相对散射因子】

由上式已知，若温度k也已知，则即可求出样品的结晶点。但相对干同一个试模而言，k是常量。人们可利用测定二个不同结晶度的同一试模来计算出k值，从而得出试样的结晶度。

相对结晶度

如果将k值取1则xc=ic/(ic+ia)，即为相对结晶度。

这个统计方法虽然不准确，但对试样也存在择优取向，且同晶相合非晶相的化学成分也相同，可认为，xrd残余应力检测多少钱，该法有比较意义。其实，得到结晶性相当麻烦，所以相对结晶度反而是比较常用的办法。

分析晶体衍射基础的公式是布拉格定律：2d sinθ=nλ

【注意:λ为x guang线的长度，n则为的正整数，即衍射级数】

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不能精修的原因与解决办法

选择精修命令后，有时会出现“unable to graft hkls to peaks”的提示。表明不能进行精修。其原因有两种：一是有些拟合的峰没有对应的(hkl)标记。例如，测量铁素体的5条线，但检索pdf卡片只有前3条线，3条衍射线不能进行精修。二是衍射峰位相对于“选定结构 (标准卡片)”的峰位偏离太多。

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